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山東力冠微電子裝備

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真空退火

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真空退火設備

◆ 主要用于半導體器件退火及燒結等工藝，可進行真空、氣體保護等 ◆ 設備結構新穎,操作方便 ◆ 在一臺設備上可以完成多個工藝流程

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