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山東力冠微電子裝備

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RTP快速退火

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RTP快速退火設備

◆ 快速退火爐是利用紅外熱輻射實現快速加熱的一種半導體熱處理工藝設備，通過燈光輻射型熱源功率控制模塊裝置和專用燈組對位于工藝腔體的半導體硅片進行快速加熱來實現穩定的升溫過程

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